Sistema de Vácuo

Para atingir o vácuo apropriado para as análises na câmara do MEV, geralmente é utilizado um conjunto de bombas operando com uma bomba mecânica para o vácuo primário (em torno de 10-3 Torr) e outra para o vácuo secundário (em torno de 10-6 Torr). Podem ser usadas uma bomba mecânica seguida de uma bomba turbo molecular ou difusora para a câmara e uma ou duas bombas iônicas para a coluna do MEV.

Foi realizado o vácuo no cilindro de vidro do equipamento e consequentemente a carbonização do material, contribuindo assim para passagem rápida de correntes. O que permite a visualização adequada da microscopia do material e o correta análise dos resultados.